半導體專用設備受益股有：
晶盛機電（300316）：12月21日該股主力資金凈流入3704.74萬元，超大單資金凈流入818萬元，大單資金凈流入2886.75萬元，中單資金凈流出2915.96萬元，散戶資金凈流出788.79萬元。
從晶盛機電近五年凈利潤來看，近五年凈利潤均值為13.43億元，過去五年凈利潤最低為2018年的5.82億元，最高為2022年的29.24億元。
捷佳偉創(chuàng)（300724）：12月21日消息，捷佳偉創(chuàng)12月21日主力凈流入5424.4萬元，超大單凈流入1278.41萬元，大單凈流入4145.99萬元，散戶凈流出6171.26萬元。
從公司近五年凈利潤來看，近五年凈利潤均值為5.95億元，過去五年凈利潤最低為2018年的3.06億元，最高為2022年的10.47億元。
公司主要從事泛半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售服務，是國內(nèi)領(lǐng)先的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)設備供應商和整體解決方案的提供商。
北方華創(chuàng)（002371）：12月21日消息，北方華創(chuàng)主力資金凈流出8112.07萬元，超大單資金凈流出727.13萬元，散戶資金凈流出8096.38萬元。
從公司近五年凈利潤來看，近五年凈利潤均值為9.02億元，過去五年凈利潤最低為2018年的2.34億元，最高為2022年的23.53億元。